Hybrid Arc System HCD ion plating System DLC System Other System Turm Key Solusion/CS Coating Servics
Hybrid Arc System
사람, 기술 그리고 고객이 함께하는 APIS


공구 전용
Production
Hobs ø80x180mm 360pcs
Mold ø220x300mm 75pcs
Piston ø220x1,560mm 15pcs
특징
▸ 3세대 Arc Soruce 적용 (Special Magnet Field 적용 우수한 타겟 효율 및 조도 향상)
▸ 챔버용량: 1,150 x 1,180 x 850mmH(990L)
▸ 유니포미티: Φ700 x 470mmH
적용분야