PRODUCTS
Hybrid Arc System HCD ion plating System DLC System Other System Turm Key Solusion/CS Coating Servics
Hybrid Arc System
사람, 기술 그리고 고객이 함께하는 APIS
i40A
i70A
i90A
i120A
i150A
i300A
iPICO 80


공구 전용
Production
Hobs ø80x180mm 360pcs
Mold ø220x300mm 75pcs
Piston ø220x1,560mm 15pcs
특징
▸ 3세대 Arc Soruce 적용 (Special Magnet Field 적용 우수한 타겟 효율 및 조도 향상)
▸ 챔버용량: 1,150 x 1,180 x 850mmH(990L)
▸ 유니포미티: Φ700 x 470mmH
적용분야