Hybrid Arc System HCD ion plating System DLC System Other System Turm Key Solusion/CS Coating Servics
Hybrid Arc System
사람, 기술 그리고 고객이 함께하는 APIS


R&D 및 Scriber, 소형 툴 용
Production
Shank tool ø10x70mm 60pcs
nserts ø20x6mm 300pcs
특징
▸ 가공이 없는 원형 디스크 타겟 사용(127mm diameter)
▸ 고정 로테이션 테이블
▸ 유니포미티 : 3축 x 135mm H
▸ 펄스바이어스 및 터보 펌프 적용
▸ 자동화 시스템 및 실시간 그래프 확인
▸ 시스템 사이즈 : 2M(L) x 1.5M(W) x 1.8M(H)
조합
[i40A : DLC시스템]
▸ 일반 아크 DLC 코팅
▸ 우수한 밀착력
▸ 우수한 표면조도(Ra, Rz)
[i40S : UBM 스퍼터 시스템]
▸ 타겟사이즈 :203.2mm x 127mm x 12mmt
적용분야