에이피스(주)

제품소개

Hybrid Arc System

사람, 기술 그리고 고객이 함께하는 APIS

R&D 및 Scriber, 소형 툴 용

Production
Shank tool	ø10x70mm	60pcs
nserts	ø20x6mm	300pcs

특징

▸ 가공이 없는 원형 디스크 타겟 사용(127mm diameter)

▸ 고정 로테이션 테이블

▸ 유니포미티 : 3축 x 135mm H

▸ 펄스바이어스 및 터보 펌프 적용

▸ 자동화 시스템 및 실시간 그래프 확인

▸ 시스템 사이즈 : 2M(L) x 1.5M(W) x 1.8M(H)

조합

[i40A : DLC시스템]

▸ 일반 아크 DLC 코팅

▸ 우수한 밀착력

▸ 우수한 표면조도(Ra, Rz)

[i40S : UBM 스퍼터 시스템]

▸ 타겟사이즈 :203.2mm x 127mm x 12mmt

적용분야