특징
▸ HCD, Arc 및 Sputter의 조합이 가능한 하이브리드 방식
▸ 고온 및 저온 코팅이 가능
▸ 우수한 표면조도
▸ 자동화 시스템 및 원격제어(유니포미티 : 8축 x 520mm H)
▸ 퀵 클램핑(Quick Clamping) 방식을 채택하여 타겟교체 및 메인터넌스 용이
▸ 데이터 저장 및 실시간 그래프 확인H
▸ 시스템 사이즈 : 3.2m(L) x 2.8m(W) x 2.3m(H)
▸ 옵션 : 스퍼터 (타겟사이즈 : 558.8mm x 127mm x 12mm t)
