에이피스(주)

Other System

사람, 기술 그리고 고객이 함께하는 APIS

다이아몬드 파우더 및 CNT 전용

특징

▸ CNT(Carbon Nano Tube) & 파우더용 드럼 코팅

▸ UBM을 적용하여 원거리코팅 가능

▸ 타겟 효율 (Cr 기준 40%이상)

▸ 자동화 시스템 및 데이터저장

▸ 시스템 사이즈 : 3m(L) x 2.5m(W) x 2m(H)

▸ 아이시스는 다양한 사이즈의 스퍼터 시스템을 제공하고 있으며, 최대 72인치까지 제작 가능합니다.

적용분야