Hybrid Arc System HCD ion plating System DLC System Other System Turm Key Solusion/CS Coating Servics
DLC System
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광학렌즈 금형 및 마이크로 드릴용
▪ DLC Coating 장비 비교표
i40D
i60FA
i600S
챔버사이즈
직경 400 x 400H
650x600x600
600x600x600
코팅시스템
일반 Arc
Filtered Arc
Sputtering
유니포미티
135mm H x 3 axes
130mm H x 6 axes
300mm H x 6 axes
MFC
Ar, C2H2, N2
Ar, C2H2, N2
Ar, C2H2, N2
타겟
5inch x 15mm t
70mm dia x 12mm t
16inch x 5 inch x12mmt
에칭(크리닝방식)
Glow Discharge
Ion Beam (6KW, DC)
Glow Discharge
버퍼층
Cr
없음
Cr
코팅두께
1um 이하
0.5um 이하
일반 두께
코팅박막 특징
smooth, Hard
Very smooth, very hard
Smooth, hard
특징
▸ Double bending duct를 이용한 필터링
▸ 이온건(CDIS)에 의한 크리닝
▸ 월등한 표면조도 (Rt < substrate + 10nm)
▸ 자동화 시스템 및 데이터 저장
▸ 시스템 사이즈 : 3.3m(L) x 2.2m(L) x 2.2m(H)
▸ 옵션 : DLC 에처 시스템
적용분야