Hybrid Arc System home제품소개Hybrid Arc System
사람 기술 그리고 고객이 함께하는 isys

R&D 및 Scriber, 소형 툴 용

i40A
Production    
Shank tool ø10x70mm 60pcs
Inserts ø20x6mm 300pcs
 
가공이 없는 원형 디스크 타겟 사용(127mm diameter)
고정 로테이션 테이블
유니포미티 : 3축 x 135mm H
펄스바이어스 및 터보 펌프 적용
자동화 시스템 및 실시간 그래프 확인
시스템 사이즈 : 2M(L) x 1.5M(W) x 1.8M(H)
i40A : DLC 시스템
  일반 아크 DLC 코팅
우수한 밀착력
우수한 표면조도 (Ra, Rz)
i40S : UBM 스퍼터 시스템
  타겟사이즈 :203.2mm x 127mm x 12mmt